Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILTDas Zentrum für Nanophotonik bündelt am Fraunhofer ILT eine Reihe von Aktivitäten, bei denen Analysesysteme mit einer Auflösung im nm-Bereich entwickelt werden, aber auch Produkte und Komponenten mit Strukturen bis hinunter in den Bereich von einigen Nanometern.
Beispiele sind:
- Nahfeld-Mikroskopiesysteme (SNOM) mit denen eine Ortsauflösung weit unterhalb der verwendeten Beleuchtungswellenlänge erzielt werden kann
- plasmonische Systeme, mit denen beispielsweise klassische mikrooptische Systeme durch weit kostengünstigere Strukturen ersetzt werden können
- lasererzeugte Nanostrukturen auf Oberflächen, beispielsweise für die neuartige elektrische Leiterbahnen oder Verschleißschutzschichten
- plasmabasierte (inkohärente) Quellen für sehr kurzwellige Strahlung (XUV/EUV im Wellenlängenbereich von einigen Nanometern), mit denen Nanostrukturen erzeugt und analysiert werden können
- Ultrakurzpulslaser-basierte kohärente Strahlquellen für XUV/EUV zur Erzeugung und Analyse von Nanostrukturen und zur Analyse von Materialeigenschaften
- Laseranlage zur Erzeugung von 3D-Nano-Strukturen in transparenten Dielektrika
Die Arbeiten werden in enger Zusammenarbeit mit den in diesen Gebieten tätigen Fakultäten der RWTH Aachen University (u. a. mit der Fakultät für Physik/Naturwissenschaften und der Fakultät Elektrotechnik) durchgeführt.