Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) werten unsere Smartphones zu einem hilfreichen Alltagswerkzeug voller nützlicher
und kompakt integrierter Funktionen auf. Mikroaktuatoren, wie beispielsweise in Mikrolautsprechern oder Mikropumpen, werden durch dünne piezoelektrische Funktionskeramiken angetrieben, die sich bei Anlegen eines elektrischen Felds mechanisch verformen.
Mit konventionellen Fertigungsverfahren der Mikroelektronik ist die Herstellung solcher piezoelektrischer Multischichtsysteme äußerst zeit- und kostenintensiv. Durch die Kombina-tion von Tintenstrahldruck mit laserbasierten Funktionalisierungsverfahren ist es möglich, den Zeit- und Kostenaufwand zur Herstellung hochfunktionaler Dünnschicht-MEMS im industriellen Maßstab maßgeblich zu reduzieren.