Interferometrische Abstandssensorik mit autonomen Subsystemen für Präzisions-Inline-Messungen zur Regelung automatisierter Fertigungsprozesse
»INSPIRE« wird vom Bundesministerium für Bildung und Forschung im Rahmen der Förderinitiative »Digitale Optik« gefördert. Gemeinsam mit der LSA - Laser Analytical Systems & Automation GmbH, Beratron GmbH, HIGHYAG Lasertechnologie GmbH und Friedrich Vollmer Feinmeßgerätebau GmbH arbeiten Wissenschaftler des Fraunhofer-Instituts für Lasertechnik ILT an der Entwicklung einer mit Submikrogenauigkeit messenden Inline-Digitaloptik für die Metallbearbeitung.
Ziel ist eine absolut messende interferometrischen Abstandssensorik, die gleichzeitig makroskopische und mikroskopische geometrische Werkstückeigenschaften von metallischen Halbzeugen direkt im Fertigungsprozess detektiert.
Diese neue Technologie würde erstmals das Überprüfen der Form- und Lagetoleranzen von Werkstücken im Submikrobereich ermöglichen.
Einzelne Projektziele:
- Integration von drei autonom arbeitenden Subsystemen in die Sensorik, die ihre Parameter in Echtzeit an die Eigenschaften des zu vermessenden Werkstücks in einer Fertigungslinie anpassen und so den Dynamikumfang um das 20-fache steigern.
- Entwicklung von Subsystemen, die auf verschiedene Oberflächenbeschaffenheit (Rauheit, Absorptionsvermögen), komplexe geometrische Werkstückformen (Stufen, Rundungen), Relativbewegungen zwischen Sensorik und Werkstück (Schwärmbewegung) und Änderungen der Neigung der Oberfläche (Schrägen) reagieren.
- Aufbau eines prozesssicher ausgelegten Systems, das in einem Messbereich von mindestens 20 mm nicht nur unter Labor-, sondern auch unter Produktionsbedingungen eine Messunsicherheit von 250 nm erreicht.